BORON11 TRICHLORIDE Semiconductor Dopant Semiconductor Attacco a secco
Introduzione al prodotto
A temperatura e pressione normali, il tricloruro di boro (Bcl 3 ) è gas di fumo incolore, che è infiammabile, pungente, odore acido. Il tricloruro di boro si decompone in acido cloridrico e acido borico e rilascia un sacco di calore che si incontrano con acqua, genera fumo nell'aria umida a causa dell'idrolisi e Bcl 3 si decompone nell'acido cloridrico e nell'este di acido borico nell'alcool. Il tricloruro di boro ha una forte capacità di reazione e può formare una varietà di composti di coordinazione. Il tricloruro di boro può reagire con vetro e ceramica quando riscaldato, e reagisce anche con molti composti organici per formare una varietà di composti organoboron. Il tricloruro di boro11 ad alta purezza viene utilizzato principalmente per il doping di diffusione nel processo di produzione dei dispositivi a semiconduttore (silicio). Le impurità del boro vengono generate attraverso la decomposizione di Bcl 3 e si diffondono verso il silicio per formare semiconduttore di tipo P ad alta temperatura. Bcl 3 può essere utilizzato anche per l'attacco a secco di AL, MOSI 2 , Tasi 2 , Tisi 2 , WSI e altri materiali.
Specifiche di qualità
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items
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Units
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Index
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Boron11 Trichloride≥
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Vol.%
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99.9995
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Oxygen+Argon<
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Vol.ppm
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1
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Nitrogen<
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Vol.ppm
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4
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Ca
rbon monoxide<
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Vol.ppm
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0.5
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Carbon dioxide<
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Vol.ppm
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0.2
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Methane <
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Vol.ppm
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0.5
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Total impurity content≤
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Vol.ppm
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5
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Metal ion
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Vol.ppm
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Supply and demand agreement
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Applicazione
Il tricloruro di boro può essere utilizzato per produrre boro puro elevato, catalizzatore per sintesi organica, agente di flusso per la decomposizione silicato e ha anche usato come additivo di desossidante, nitruri e carburi nella raffinazione della lega. L'alto tricloruro di boro11 puro viene utilizzato principalmente nel doping di diffusione, nell'impianto ionico, nell'attacco a secco e in altri processi in dispositivi a semiconduttore e produzione di circuiti integrati.
Imballaggio e archiviazione
Il tricloruro di boro11 è riempito nel cilindro. Il cilindro riempito con tricloruro di boro11 è conforme alle disposizioni pertinenti di GB14193. Le specifiche dell'imballaggio includono 10L e 47L. Il prodotto è conservato in un magazzino ombreggiato, secco e ventilato inferiore a 60 ℃ . È vietato esporre al sole e tenere lontano dalle fonti di calore. Il pacchetto deve essere sigillato e deve essere immagazzinato separatamente con alcali e altri articoli pericolosi.
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