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L'innovazione dei materiali di incisione ZSEM soddisfa i requisiti impegnativi della crescita continua e ora è possibile produrre una varietà di gas contenenti fluoro di alta purezza per servire fabbriche di chip e per realizzare chip di wafer di dimensioni sempre più eliminate.
Il gas di attacco prodotto dalla nostra azienda è di solito a gas fluoruro, tra cui Boron Tricloruro 11, perfluoro butadiene, fluoruro carbonile, trifluoroiodometano, difluoruro di xeno, fluoride ad alta purizia, ecc.
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