C4F6 Hexafluoro-1 3-butadiene 4N Agente di incisione del chip

$500

≥100
Gram

Tipo di pagamento:

L/C,T/T,Paypal

Incoterm:

FOB,CIF,DDP

Quantità di ordine minimo:

100 Gram

contattaci ora

Descrizione del prodotto

Capacità di fornitura e informazioni ag...
Confezionamento e consegna

< >

Overview

Capacità di fornitura e informazioni ag...

Tipo di pagamento: L/C,T/T,Paypal

Incoterm: FOB,CIF,DDP

Confezionamento e consegna

Unità vendibili:: Gram

C4F6 CAS: 685-63-2 hexafluoro-1 3-butadiene 99,99% 4n

agente di incisione con chip

Utilizzo del prodotto

Hexafluoro-1,3-butadiene (C ₄ F ₆ ) è una sorta di gas incolore, inodore e insolubile in acqua. Alla temperatura e alla pressione normali, il suo punto di fusione è di 132,0 ℃, il punto di ebollizione è 5,9 ℃ .exafluoro-1,3-butadiene è una sorta di olefine coniugate che contiene sei atomi di fluoro e due doppi legami carbonio di carbonio, come un tipo eccellente Gas di incisione, a causa del suo unico rapporto F/C, esafluoro-1,3-butadienehas di selettività, accuratezza e proporzioni di incisione più elevata rispetto a quelli del tradizionale gas di incisione fluorocarburi saturi, hexafluoro-1,3-butadiene anche circuito elettronico più stretto. Inoltre, C ₄ F ₆ ha un rapporto selettivo più elevato di nitruro di fotoresist e silicio rispetto a quello di C ₄ F ₈ , che può migliorare la stabilità di attacco, la velocità di attacco e l'uniformità e quindi migliorare la qualità del prodotto.

Parametro del prodotto

Items	Unit	Index
C₄F₆	Vol.%	≥99.99
N₂	Vol.ppm	≤10
O₂+Ar	Vol.ppm	≤2
H₂O	Vol.ppm	≤3
CO₂	Vol.ppm	≤10
CO	Vol.ppm	≤3
Isopropanol	Vol.ppm	≤5
Other fluorocarbon	Vol.ppm	≤70
Measured by HF）	Wt.ppm	≤2

Applicazione

Utilizzato come gas di attacco per l'attacco al plasma di prodotti a semiconduttore.

Imballaggio e archiviazione

Hexafluoro-1,3-butadiene è riempito in cilindri in acciaio con il modello di B10, dimensioni di 14 cm × 83 cm, volume interno di 10,1L, peso lordo di 14,7 kg, carico utile di 10 kg. Le specifiche dell'imballaggio possono essere personalizzate in base alle esigenze dei clienti.

Elenco prodotti : Materiali chimici elettronici a semiconduttore > Materiali di incisione a semiconduttore/wafer

Prodotti caldi

Mail a questo fornitore

*Oggetto:
*A:

Mr. Edward Xu
*E-mail:
*messaggio:

Il tuo messaggio deve essere compreso tra 20-8000 caratteri