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ZSEM produce una varietà di gas speciali elettronici contenenti fluoro di alta purezza e solventi organici per semplificare la produzione del chip. L'attività di pulizia del wafer, macause, è una delle procedure più ripetutamente eseguite che viene intrapresa durante la fabbricazione di wafer. Con la tecnologia in continua evoluzione e la proprietà che riducono il dispositivo, i processi di pulizia si complicano ogni volta. I contaminanti del wafer vanno da particelle con un intervallo di diametro da 0,1 a 20 micron, contaminanti organici e inorganici e impurità. La pulizia dei wafer deve essere eseguita senza introdurre ulteriori impurità o contaminanti sulla superficie finale.
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