5N Sulphur Hexafluoruro SF6 Gas speciale elettronico

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Modello: Sulphur Hexafluoride CAS: 2551-62-4

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Sulphur Hexafluoride CAS: 2551-62-4 SF6 99.999% 5n Gas speciale elettronico ad alta purezza

Utilizzo del prodotto

Lo zolfo esafluoride è un gas inerte incolore, inodore, non tossico, non infiammabile con un peso molecolare di 146,07, un punto di fusione di -51 ° C e un punto di ebollizione di -64 ° C. La struttura molecolare dell'esafluoride di zolfo è disposta in un ottaedro, la distanza di legame è piccola e l'energia di legame è alta, quindi la sua stabilità è alta. Electronic Grade Exafluoride di zolfo ad alta purezza è un incisione ideale. L'esafluoride di zolfo può essere utilizzato per incidere la superficie del silicio e rimuovere le membrane organiche o inorganiche su materiali a semiconduttore e può essere utilizzato nella produzione di fibre ottiche.

Specifiche di qualità

Items	Units	Index
（SF₆）Sulfur hexafluoride	Vol./%	≥99.999%
Oxygen+Argon（O₂+Ar）≤	Vol.ppm	≤2
Nitrogen（N₂）≤	Vol.ppm	≤2
Carbon tetrafluoride（CF₄）≤	Vol.ppm	≤1
Carbon monoxide（CO）≤	Vol.ppm	≤0.5
Carbon dioxide（CO₂）≤	Vol.ppm	≤0.5
Methane（CH₄）≤	Vol.ppm	≤0.5
Moisture（H₂O）≤	Vol.ppm	≤3
Acidity（以HF计）≤	μg	≤0.1
Hydrolytic fluoride（以HF计）≤	μg	≤0.8
Total impurity content≤	μg	≤10
Particle	μg	Supply and demand agreement

Applicazione

L'esafluoride di zolfo puro elevato elettronico è un agente di incisione elettronica ideale, che è ampiamente utilizzato nel campo della tecnologia di microelettronica, viene utilizzato come agente di incisione e pulizia al plasma nella produzione di grandi circuiti integrati come chip per computer e LCD. Lo zolfo esafluoride è usato come fonte di fluoro per produrre vetro drogato a fluoro nella preparazione di fibre ottiche. Inoltre, lo zolfo esafluoride può anche essere usato come gas isolante, agente tracciante e refrigerante.

Imballaggio 、 archiviazione

L'esafluoruro di zolfo è conservato in cilindri senza cuciture standard, generalmente il volume del cilindro è 40L, il tipo di cilindro è CGA590 QF-2 e la pressione del cilindro è 8,0 MPA e 12,5 MPA. Le specifiche specifiche di confezionamento possono essere personalizzate in base ai requisiti dell'utente. L'esafluoride di zolfo è immagazzinato in un magazzino ombroso e ventilato lontano dal fuoco e dalla fonte di calore, la temperatura del magazzino non supera i 30 ℃. Dovrebbe essere conservato separatamente con agente infiammabile (combustibile) e ossidante. L'area di stoccaggio deve essere dotata di attrezzature di emergenza per emergenza.

Elenco prodotti : Materiali chimici elettronici a semiconduttore > Gas speciale elettronico ad alta purezza contenente fluoro

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