CAS trifluoruro di azoto: 7783-54-2 NF3
99,5%di gas di attacco al plasma
Introduzione al prodotto
Il trifluoruro di azoto (NF 3 ) è una sorta di gas stabile incolore, inodore e di carattere, è anche una specie di ossidante forte. A temperatura e pressione normali, il suo punto di fusione è di 206,8 ℃, il punto di ebollizione è 129,0 ℃, insolubile in acqua. Il trifluoruro di azoto nell'industria della microelettronica è una sorta di eccellente gas di attacco al plasma, che è rotto in ioni attivo di fluoro durante il processo di attacco al plasma. Per l'incisione plasmatica di silicio e nitruro di silicio, l'uso di trifluoruro di azoto ha una velocità di incisione e una selettività più elevata rispetto all'uso di tetrafluoro di carbonio o tetrafruolo di carbonio e gas misto di ossigeno, specialmente nel processo di infrucco di materiale integrato con il circuito integrato con lo spessore di meno di 1,5 μm, Il trifluoruro di azoto ha un'eccellente velocità di attacco e selettività, per di più, non vi è alcun inquinamento sulla superficie del materiale inciso, è anche un buon agente di pulizia.
Specifiche di qualità
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Project
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Unit
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index
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（NF3）≥
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Vol.%
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99.5
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99.9
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99.98
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99.99
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99.996
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（CF4）≤
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Vol.ppm
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1500
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500
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100
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50
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20
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（N2）≤
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Vol.ppm
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700
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50
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10
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10
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5
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（O2+Ar））≤
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Vol.ppm
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700
|
50
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10
|
5
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3
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（CO）≤
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Vol.ppm
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50
|
10
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10
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5
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1
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（CO2）≤
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Vol.ppm
|
25
|
10
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10
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5
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0.5
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（N2O）≤
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Vol.ppm
|
50
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10
|
10
|
5
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1
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（SF6）≤
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Vol.ppm
|
50
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50
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10
|
5
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2
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Hydrolyzable fluoride
（Measured by HF）≤
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Vol.ppm
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1
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1
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1
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1
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1
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（H2O）≤
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Vol.ppm
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1
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1
|
1
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1
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1
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Applicazione
La trifluoruro di azoto può essere utilizzata come fonte di fluoro di gas laser chimico ad alta energia e come agente di incisione per materiali a semiconduttore come polisilicio, nitruro di silicio e silicida di tungsteno. Può anche essere usato come agente di pulizia per la camera di deposizione di vapore chimico e il pannello LCD. Il trifluoruro di azoto viene utilizzato come agente di pulizia per la scatola CVD, che può ridurre l'emissione di inquinanti del 90% rispetto ai perfluorocarburi e migliorare significativamente la velocità di pulizia e la capacità di pulizia.
Imballaggio e archiviazione
Il trifluoruro di azoto viene riempito in un cilindro senza cucitura in acciaio con il volume di 8L, 40L, 43.3L e 47L, rispettivamente. Il modello di cilindro è DOT-3AA, GB 5099, la pressione del cilindro è 9.0-13.0 MPA. Le specifiche dell'imballaggio possono essere personalizzate in base alle esigenze dei clienti.
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