Tungsten Hexafluoride CAS: 7783-82-6 WF6
Ad alta purezza 99,999% 5n Materiale a semiconduttore
Introduzione al prodotto
L'esafluoro di tungsteno è una specie di gas incolore a temperatura ambiente, è forte pungente, tossico e simile alla tossicità del fluoro, la sua formula molecolare è WF 6 e il peso molecolare è 297,830, il punto di ebollizione è 17,5 ℃ e il punto di fusione è 2,3 ℃ . Il tungsteno esafluoruro può essere sciolto in solventi organici e decomporsi in acqua, si decompone anche per umidità nell'aria e poi fuma fortemente. La sua proprietà chimica è attiva e può reagire con quasi tutti i metalli (tranne l'oro e il platino) e corrodere il nichel, le leghe di monel e l'acciaio inossidabile. Il tungsteno esafluoruro è l'unico prodotto costantemente e industriale tra il fluoruro di tungsteno, ed è usato come materia prima della deposizione di vapore chimica (CVD) di tungsteno nell'industria elettronica, che è il suo campo di applicazione principale. In particolare, WSI 2 realizzato con WF 6 può essere utilizzato come materiale di cablaggio nel circuito integrato su larga scala (LSI).
Specifiche di qualità
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Items
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Units
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Index
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Index
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Index
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Tungsten hexafluoride≥
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Vol.%
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99.9
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99.999
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99.9995
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Carbon tetrafluoride（CF4）≤
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Vol.ppm
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10
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0.5
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0.5
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Nitrogen（N2）≤
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Vol.ppm
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50
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1
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0.5
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Oxygen+ Argon（O2+Ar）≤
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Vol.ppm
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50
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0.5
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0.5
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Carbon dioxide（CO2）≤
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Vol.ppm
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-
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0.5
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0.5
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Carbon monoxide（CO）≤
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Vol.ppm
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-
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0.5
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0.5
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Sulfur hexafluoride（SF6）≤
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Vol.ppm
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10
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0.5
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0.5
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Silicon tetrafluoride（SiF4）≤
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Vol.ppm
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10
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0.5
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0.5
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Hydrogen fluoride（HF）≤
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Vol.ppm
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800
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1
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1
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Applicazione
Il tungsteno esafluoruro può essere utilizzato come materia prima della deposizione di vapore chimico (CVD) di tungsteno nell'industria elettronica, può anche essere utilizzato come elettrodo a semiconduttore e pasta conduttiva. Inoltre, il tungsteno esafluoride è ampiamente usato come flugizzatore, catalizzatore di polimerizzazione e materia prima dei materiali ottici.
Imballaggio 、 archiviazione
Il tungsteno hexafluoride è immagazzinato in cilindri senza cuciture standard, le specifiche di imballaggio includono rispettivamente 8L, 44L e 47L. Le specifiche specifiche di confezionamento possono essere personalizzate in base ai requisiti dell'utente. Il tungsteno Hexafluoride è immagazzinato in un magazzino ombroso, secco e ventilato lontano dal fuoco e dalla fonte di calore. L'area di stoccaggio deve essere dotata di attrezzatura per emergenza.
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