Hexafluoroethane CAS: 76-16-4 C2F6 Hight Purity
99,999% 5N per gas di incisione a semiconduttore
Introduzione al prodotto
Hexafluoroethane (C 2 F 6 ), noto anche come perfluoroetano, è una specie di gas inerte incolore, inodore, non infiammabile. A temperatura e pressione normali, il suo punto di fusione è di 100,6 ℃, il punto di ebollizione è 78,2 ℃, leggermente solubile in acqua. L'esafluoroetano è prodotto dalla reazione di R125 e gas fluoro, quindi ottenuto prodotti di grado elettronico dopo la purificazione e la rettifica. A causa della sua stabilità non tossica, inodore e elevata, Hexafluoroethane è ampiamente utilizzato nel processo di produzione dei semiconduttori. Hexafluoroethane, come incisione secca, presenta i vantaggi di incisione del bordo molto piccola, alta velocità di incisione e alta precisione, che può soddisfare i requisiti del processo di produzione di semiconduttori per una piccola larghezza di linea.
Specifiche di qualità
|
Items
|
Unit
|
Indexs
|
|
C2F6
|
Vol.%
|
≥99.999
|
|
O2+Ar
|
Vol.ppm
|
＜1
|
|
N2
|
Vol.ppm
|
＜5
|
|
CO
|
Vol.ppm
|
＜0.5
|
|
CO2
|
Vol.ppm
|
＜0.5
|
|
H2
|
Vol.ppm
|
＜0.5
|
|
Halohydrocarbon
|
Vol.ppm
|
＜5
|
|
CH4
|
Vol.ppm
|
＜1
|
|
H2O
|
Vol.ppm
|
＜2
|
|
Acidity（Measured by HF）
|
Wt. ppm
|
＜0.1
|
|
Total impurity content
|
Mol.ppm
|
≤10
|
Applicazione
L'esafluoroetano di grado elettronico viene utilizzato principalmente nel processo di produzione di materiali a semiconduttore e dispositivi a semiconduttore come agente di incisione e agente di pulizia, nonché gas isolante e refrigerante ad alta resistenza dielettrica.
Imballaggio e archiviazione
L'esafluoroetano è riempito in cilindri resistenti ad alta pressione che è dotato di valvole in ottone con un giunto corrispondente per i raccordi standard sostituibili CGA di tipo 320. Le specifiche dell'imballaggio possono essere personalizzate in base alle esigenze dei clienti.
Contact Now
