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I gas speciali elettronici ad alta purezza contenenti fluoro sono ampiamente utilizzati in industrie ad alta tecnologia come semiconduttori, microelettronica e celle solari correlate. Man mano che le tecnologie a semiconduttore e microelettronica si sviluppano a prestazioni più elevate e una maggiore integrazione, i requisiti di purezza per i gas speciali elettronici sono in aumento. La purificazione dei gas speciali elettronici è molto importante
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