Perfluoropropane CAS: 76-19-7 Etcant a semiconduttore C3F8 ALTA PURITÀ 99,999% 5N Materiali di attacco a chip 5n
Introduzione al prodotto
Il perfluoropropano (C 3 F 8 ) è una sorta di gas inerte incolore, inodore, non infiammabile. A temperatura e pressione normali, il suo punto di fusione è di 183,0 ℃, il punto di ebollizione è di 36,7 ℃, scarsamente solubile in acqua. L'ottafluoropropano è prodotto dalla reazione di eptafluoropropano e gas fluoro, quindi ottenuto prodotti di grado elettronico dopo purificazione e rettifica. L'ottafluoropropano di grado elettronico viene utilizzato in materiali a semiconduttore e produzione di dispositivi a semiconduttore. La miscela di ottafluoropropano e ossigeno viene utilizzata come materiale di attacco al plasma, che può interagire selettivamente con la matrice metallica del wafer di silicio. Inoltre, a causa della sua elevata resistenza fisiologica, viene utilizzato principalmente come agente di riempimento e contrasto dopo chirurgia vitreoretinica.
Specifiche di qualità
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Items
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Unit
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Indexs
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C3F8
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Vol.%
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≥99.999
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≥99.9995
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O2+Ar
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Vol.ppm
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＜1
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＜0.5
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N2
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Vol.ppm
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＜5
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＜1
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CO
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Vol.ppm
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＜0.5
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＜0.5
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CO2
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Vol.ppm
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＜0.5
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＜0.5
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CF4
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Vol.ppm
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＜0.5
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＜0.5
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C2F6
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Vol.ppm
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＜0.5
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＜0.5
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CH4
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Vol.ppm
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＜1
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＜1
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H2O
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Vol.ppm
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＜1
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＜1
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Acidity (Mesured by HF)
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Wt. ppm
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＜0.1
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＜0.1
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Total impurity content
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Mol.ppm
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≤10
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≤5
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Applicazione
Nell'industria dei semiconduttori, l'ottafluoropropano viene utilizzato come materiali per l'attacco al plasma; In medicina, l'ottafluoropropano può essere usato come agente di riempimento e contrasto dopo chirurgia vitreoretinica. L'ottafluoropropano è anche usato come ingrediente nelle miscele refrigerate.
Imballaggio e archiviazione
Il perfluoropropano è riempito in cilindri senza cucitura puliti e secchi con un trattamento speciale. I volumi del cilindro sono 4L, 8L, 10L, 12.5L e 40L ecc. Le specifiche di imballaggio possono essere personalizzate in base ai requisiti dei clienti.
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