Xenon Difluoride CAS: 13709-61-0 XEF2 99,9% 3N per l'attacco a semiconduttore
Lo xenone difluoruro si decompone in soluzioni neutre o alcaline ed è relativamente stabile in soluzioni acide. La soluzione acquosa ha un odore pungente. Il vapore di difluoruro di xeno è incolore e ha una puzza nauseabonda. Nel settore dell'elettronica, XEF2 viene spesso utilizzato come gas di attacco per il silicio. Poiché la reazione chimica tra XEF2 e silicio è una reazione spontanea, XEF2 ha una selettività molto elevata nel processo di incisione del silicio. Nel processo di incisione del silicio da parte di XEF2, XEF2 gas sfidando liberamente alla superficie del substrato di silicio e reagendo chimicamente con gli atomi di silicio più esterni per generare XE gassoso e Sif4 gassoso, la corrosione del silicio viene realizzata.
Parametro del prodotto
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Xenon difluoride（XeF2）≥
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Vol.%
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99.9
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Kalium（K）≤
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mg/kg
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0.18
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Calcium（Ca）≤
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mg/kg
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0.15
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Sodium（Na）≤
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mg/kg
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0.70
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Magnesium（Mg）≤
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mg/kg
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0.12
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Aluminum（Al）≤
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mg/kg
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0.17
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Zinc（Zn）≤
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mg/kg
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0.30
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Iron（Fe）≤
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mg/kg
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1.21
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Plumbum（Pb）≤
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mg/kg
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0.07
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Cuprum（Cu）≤
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mg/kg
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0.05
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Chromium（Cr）≤
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mg/kg
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0.15
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（Mn）≤
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mg/kg
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0.04
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Manganese（Mo）≤
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mg/kg
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0.15
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Nickel（Ni）≤
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mg/kg
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0.83
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Phosphorus（P）≤
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mg/kg
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0.14
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Applicazione
Lo xenon Difluoride è una sorta di fluridizzatore selettivo, che è ampiamente utilizzato nella preparazione di fluoro inorganico e sintesi organica, ma solo in fase gassosa e soluzione non acquosa può essere utilizzata come flurizer e solo in soluzione acquosa può essere utilizzata come ossidante. Inoltre, XEF 2 viene generalmente utilizzato come gas di incisione del silicio nel settore elettronico.
Imballaggio 、 archiviazione
Lo xenon Difluoride è un composto stabile e può essere immagazzinato in contenitori di nichel o cilindro senza soluzione di continuità in alluminio per lungo tempo. Al fine di soddisfare i diversi requisiti degli istituti di ricerca scientifica e delle imprese, le specifiche di imballaggio includono 100G, 500 g, 1 kg, 2 kg e 5 kg ecc. Le specifiche specifiche di imballaggio possono essere personalizzate in base ai requisiti dell'utente. Lo xenon Difluoride deve essere immagazzinato in un magazzino ombreggiato e ventilato, separato dai prodotti chimici alimentari ossidanti 、 metallo alcali, tenuto lontano dalle fonti di fuoco.
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