Tantalum (v) fluoruro CAS: 7783-71-3 TAF5 99,9% 3N Materiale a semiconduttore di materiale chimico Materiali a semiconduttore Materiali di processo a semiconduttore
Introduzione al prodotto
TantaLum (V) Fluoruro (TAF 5 ) è un cristallo bianco con una forte capacità di rifrazione a temperatura ambiente, la sua massa molecolare relativa è 276, il punto di fusione è 96,8 ℃, il punto di ebollizione è 229,5 ℃. Il fluoruro di tantaLum (V) è leggermente solubile in soluzione calda di disolfuro di carbonio e tetracloruro di carbonio, è solubile in acqua e etere, acido idrofluorico, acido nitrico e acido nitrico, è igroscopico nell'aria senza idrolisi. L'alto fluoruro di Tantalum puro (V) è utilizzato nell'industria microelettronica per la deposizione di vapore chimico di tantalum silicida o pellicola di tantalum, al fine di produrre interconnessioni ed elettrodi a griglia con bassa resistenza e elevato punto di fusione. Tantalum (V) Fluoruro può formare un film di isolamento con un forte Adesione, spessore di 0,1 μm e una costante dielettrica elevata sulla superficie dei componenti elettronici, dispositivi a semiconduttore, titanio, elettrodo di nitruro metallico e tungsteno metallico.
Specifiche di qualità
|
Tantalum pentafluoride≥
|
Vol.%
|
99.9
|
|
Carbon
tetrafluoride（CF4）≤
|
Vol.ppm
|
10
|
|
Nitrogen（N2）≤
|
Vol.ppm
|
50
|
|
Oxygen+Argon（O2+Ar）≤
|
Vol.ppm
|
50
|
|
Sulfur
hexafluoride（SF6）≤
|
Vol.ppm
|
10
|
|
Silicon
tetrafluoride（SiF4）≤
|
Vol.ppm
|
10
|
|
Hydrogen
fluoride（HF）≤
|
Vol.ppm
|
800
|
|
Applicazione n
Il fluoruro di tantaLum (V) viene utilizzato nell'industria della microelettronica per la deposizione di vapore chimico di tantalio silicida o film di tantalio, al fine di produrre interconnessioni ed elettrodi a griglia con bassa resistenza e elevato punto di fusione.
Imballaggio 、 archiviazione
Il fluoro di tantaLum (V) è immagazzinato in cilindri in acciaio Con specifiche di imballaggio di 4.64L/10.2L/44L, le specifiche specifiche di imballaggio possono essere personalizzate in base ai requisiti dell'utente. Il fluoruro di Tantalum (V) è conservato in un magazzino ombreggiato e secco.
Contact Now
